㈠ 请问磁控溅射镀膜机哪家的好 价格多少 (美国 日本)
不说应用,很难回答啊!
国外的磁控溅射镀膜机价格很高,单体炉至少要500万以上吧,连续式的要上千万或者几千万吧!
做装饰镀的话,国内的设备已经完全可以和国外的设备相媲美了,美国的vaportech,荷兰hauzer都不错。
工具镀的话,瑞士的platit,balzers,德国cemecon,英国的teer,这些基本上都是利用磁控溅射技术的。
光学镀膜的话,德国的莱宝光学的设备不错。
国内外价格相差太大。
㈡ 用直流磁控溅射设备制备20nm金薄膜需要的时间
首先要看你沉积那种金属的镀层,不同金属的溅射产额相差很大,溅射功率、偏压、工作气压,影响参数很多,如果是TiAlN,0.3Pa,-75V偏压,100W,1分钟大概就能沉积20nm
㈢ 做8寸晶圆背金AlTiNiAg用磁控溅射镀膜设备 那家设备比较好
这要看你要什么要求呢?
要求高,设备就要高点。
㈣ 磁控溅射镀膜设备 哪家比较好
如果资金够可以选择北京衡扬科技的磁控溅射镀膜机,绝对一流品质;资金不太充裕,可以选择成都西沃克真空科技的设备,满足使用要求也不含糊。
㈤ 磁控溅射镀膜机选用国产设备好还是进口的好
谁说的国产用不了两年呢?注意保养,10年也没问题。
㈥ 现在实验用磁控溅射设备大概多少钱一套
50~80万。
㈦ 真空镀膜机多少钱一台
很朋友都问这个问题,真空镀膜设备分好几种,看工艺看设备配置,蒸发镀膜机在15-40万,多弧离子镀膜设备在30-120万,磁控溅射镀膜设备在60-100万、工具镀膜设备在70-100万
㈧ 请问磁控溅射镀膜机哪家的好 价格多少 (美国 日本)
哪个领域用啊?
玻璃行业连续溅射镀膜线用德国的Von.Arden,比利时的Bakaert,美国的应用材料AMAT和Airoc等。
装饰镀行业一般用溅射单体机,瑞士的platit和Balzers设备,德国的PVT,都不错呀;
不过,谈到价格,还是国内的便宜。溅射设备价格和具体设备构件的多少和品牌有关。你得咨询卖家。一台普通的溅射单体机国内价格在30万~200万,国外一般在400万以上。
㈨ 用于电子元器件,LED加工的磁控溅射设备哪家好
广义上讲 半导抄体领域的高袭阶工艺都有机会用到 如 集成电路芯片制造 MEMS 高端二极体芯片制造等等领域 早期的工艺则用热蒸发或者电子束蒸发成膜 随着半导体工艺线宽的不断变小以及对成膜均一性,台阶覆盖的要求的不断提高 磁控溅射逐渐取代了蒸发成膜工艺