機械擴散分子泵工作原理

⑴ 分子泵原理

分子真空泵
它是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口後為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：
1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。
2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。
3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。
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哈，我現在正在做分子泵呢

⑵ 渦輪分子泵的工作原理

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⑶ 真空鍍膜機各泵工作順序，原因，原理

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

原理是將擴散泵油加熱至沸騰，氣化的油霧通過噴油嘴向四周噴射，擴散泵的四周有冷卻水管或者水套，將噴射的油霧冷卻液化流下至泵的底部循環。如果上半部分熱的話說明冷卻不好，會向真空室返油，那就是不正常的現象了，說明冷卻不好，原因可能是水壓不夠或者水管內有阻塞。

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蒸發鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來。並且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點－島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜。

對於濺射類鍍膜，可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，並使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，並且最終沉積在基片表面，經歷成膜過程，最終形成薄膜。

在光學薄膜的尺度上看（也就是1/10波長作為單位，約為100A），真空鍍膜的均勻性已經相當好，可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內，也就是說對於薄膜的光學特性來說，真空鍍膜沒有任何障礙。

濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長的控制也比較一般。

⑷ 分子泵與擴散泵的關系

分子泵和擴散泵可以到達的真空度范圍是差不多的，兩個是同級的。但兩個泵又各有不同的優點和缺點，所以在市場上兩者是並存的。

1：分子泵體積小，耗能小，對真空室的污染比較小。但是相比擴散泵，分子泵的抽氣速度比較低，維護成本比較高(精密)。

2：擴散泵可以設計為很大的抽速，購置成本比較低。但是擴散泵體積比較大，能耗高，會對真空室有很重的油污染，一般要配合液氮(氦)冷阱用(運營成本高)，不環保。

按趨勢來講，高真空泵還是向分子泵方向在發展，但是由於分子泵葉片轉速很高，所以對軸承有很高的要求，國內廠家生產的分子泵穩定性不是很好，國外的分子泵價格又過高，所以國內工業生產上一般還是選用擴散泵。只有在一些高端的產業像半導體產業和科研單位才會用到分子泵。

⑸ 真空泵的工作原理 詳細點

真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣內而獲得真空的器容件或設備。

通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。在泵腔內形成通過旋轉產生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內氣體吸入泵腔，在排氣過程中體積變小，壓強增大，最終通過油封將吸入的氣體排出泵外。

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。

⑹ 泵的種類和工作原理

泵可以大致分為以下類型：

1、容積式

容積式泵是依靠工作元件在泵缸內作往復或回轉運動，使工作容積交替地增大和縮小，以實現液體的吸入和排出。工作元件作往復運動的容積式泵稱為往復泵，作回轉運動的稱為回轉泵。

2、動力式

靠快速旋轉的葉輪對液體的作用力，將機械能傳遞給液體，使其動能和壓力能增加，然後再通過泵缸，將大部分動能轉換為壓力能而實現輸送。動力式泵又稱葉輪式泵或葉片式泵。有些動力式泵有主葉輪和副葉輪同時使用，離心泵是最常見的動力式泵。

3、隔膜式

隔膜泵又稱控制泵，是執行器的主要類型，通過接受調制單元輸出的控制信號，藉助動力操作去改變流體流量。隔膜泵一般由執行機構和閥門組成。採用壓縮空氣為動力源，對於各種腐蝕性液體、帶顆粒的液體、高粘度、易揮發、易燃、劇毒的液體，均能予以抽光吸盡。

泵是把機械能轉換成液體的能量，來輸送液體或使液體增壓的機械。它將原動機的機械能或其它外部能量傳送給液體，使液體能量增加。泵主要用來輸送水、油、酸鹼液、乳化液、懸乳液和液態金屬等液體，也可輸送液、氣混合物及含懸浮固體物的液體。

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按行業分，泵分為化工泵、環保泵、消防泵。

化工泵：

漁業泵 礦業泵 電力泵 水利泵 水處理泵 食品泵 釀造泵 制葯泵 飲料泵 煉油泵 調料泵 造紙泵 紡織泵 印染泵 制陶泵 油漆泵 農葯泵 化肥泵 製糖泵 酒精泵 環保泵

環保泵：

制鹽泵 啤酒泵 澱粉泵 供水泵 供暖泵 農用泵 園林泵 水族泵 鍋爐泵 醫用泵 船舶泵 航空泵 汽車泵 消防泵

消防泵：

水泥泵 空調泵 核電泵 機械泵 燃氣泵

⑺ 擴散泵的工作原理

在前級真空泵所造成的低真空條件下，加熱泵內硅油，使受熱沸騰蒸發，生成蒸氣，以極高速度通過該泵的各級噴口的縫隙噴出，使容器內部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置，由前級真空泵迅速抽出，使系統達到高真空的要求。

(7)機械擴散分子泵工作原理擴展閱讀：

提高性能質量：

（1）目前國內生擴散泵的廠家較多，型號、尺寸不統一，大泵越作越大，小泵則很少生產。況且對泵的全面性能也沒有考核指標。行業應對提高性能和質量進行定期檢查、組織生產廠家多做改進工作，使用戶配套方便。

（2）泵在結構方面：要縮小尺寸、降低重量，保證零件的加工精度，可增加級數，提高在4×10-1Pa時的抽氣量。給出對幾種常用的被抽氣體的抽氣量。

（3）增加附件。如設置擋油帽，過熱保護裝置（對冷卻水水溫、水壓和泵油溫度的在線測和自動保護。可自動切斷和復位）。出口壓力的監控。

（4）規定油量的最大值和最小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要觀察油位，以方便用戶及時注油。從觀察窗看泵油變質情況以便及時更換。

（5）給出合適的前級泵的容量。

（6）為了節能加熱功率要可調，要快速起動和快速冷卻停泵，提高設備的運轉率。

（7）給出各種被抽氣體的性能曲線，最好給出對一些氣體的壓縮比（方便用戶選用。

（8）用微機控制運行和故障診斷。

（9）密封處要選高質量的放氣率和透氣率小的橡膠圈。

⑻ 渦輪分子泵的工作原理是什麼

渦輪分子泵的抽氣原理是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口後為前級抽走的一種真空泵。分子泵輸送氣體應滿足二個必要條件：1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態下工作。因為當將一定容積的容器中所含氣體的壓力降低時，其中氣體分子的平均自由程則隨之增加。在常壓下空氣分子的平均自由程只有 0.06 μm ，即平均看一個氣體分子只要在空間運動 0.06 μm ，就可能與第二個氣體分子相碰。而在 1.3Pa 時，分子間平均自由程可達 4.4mm 。若平均自由程增加到大於容器壁間的距離時，氣體分子與器壁的碰撞機會將大於氣體分子之間的碰撞機會。在分子流范圍內，氣體分子的平均自由程長度遠大於分子泵葉片之間的間距。當器壁由不動的定子葉片與運動著的轉子葉片組成時，氣體分子就會較多地射向轉子和定子葉片，為形成氣體分子的定向運動打下基礎。2). 分子泵的轉子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。具有這樣的高速度才能使氣體分子與動葉片相碰撞後改變隨機散射的特性而作定向運動。分子泵的轉速越高，對提高分子泵的抽速越有利。實踐表明，對不同分子量的氣體分子其速度越大，泵抽除越困難。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口後為前級抽走的一種真空泵。這種泵具體可分為：1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。

⑼ 擴散泵與機械泵與分子泵之間的聯系是什麼

機械泵一般為中低真空泵，擴散泵，分子泵為高真空泵，機械泵一般作為擴散泵，分子泵的前級泵。

⑽ 真空泵的工作原理

原理復是利用偏心轉子在泵制腔內形成通過旋轉產生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內氣體吸入泵腔，在排氣過程中體積變小，壓強增大，最終通過油封將吸入的氣體排出泵外。

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使用真空泵的注意事項：

正常運傳前，真空泵應先做一次試運轉，檢查真空泵有無異常振動及沖擊聲響。初次使用的真空泵還要測定真空泵的極限壓強，應符合技術規范。真空泵在長期工作的條件下，真空泵溫不應超過70度。至於抽速的測定.由於比較復雜，一般不作檢查。

需要通冷卻水的機械真空泵.在開機前應先通冷卻水，然後再啟動。冷卻水的出口水溫不宜超過30度。

首次安裝真空泵時，應檢查電機是否正轉，也就是電機與真空泵內轉子轉向一致，一般電機上方標有電機正常運轉方向。真空設備應安裝在清潔、干凈的環境里，不宜有雜物、粉塵、水源，溫度過高的地方也不適合。